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生產積體電路晶片需要高度專業化的裝置◕▩✘,可在多重苛刻環境下工作◕▩✘,如·☁│╃:
● 真空環境下的等離子;
● 高溫;
● 與高度研磨液接觸;
● 暴露於多種高腐蝕性化學品│↟。
優勢
● 準確複製全球任何地區可用的材料
● 廣泛的材料選擇✘☁▩、工程支援和測試能力
● 機加工能力◕▩✘,支援模擬系統NPI應用發展
● 材料組合最為廣泛◕▩✘,專設計用於溼製程工具
● CMP環材料的全球一流製造商◕▩✘,包括Techtron® PPS(全球標準CMP應用)
● 用於刻蝕✘☁▩、CVD和離子植入等乾式製程工具的材料◕▩✘,可降低成本和提高效能