Semitron® 半導體級產品的研發↟•,是為了幫助設計者和使用客戶來最佳化元件製造裝置的效能▩₪▩╃。另外↟•,在元件製造時↟•,涉及到要求高耐磨✘│╃•✘、耐化學和抗靜電的特殊應用↟•,Semitron® 半導體級產品都是理想選材↟•,承圖塑膠代理進口▩₪▩╃。
Semitron®主要分兩個系列↟•,分別適用於元件操作和測試過程↟•,以及下一代CMP製程▩₪▩╃。
Semitron® 半導體級產品
Semitron®產品系列↟•,承圖塑膠整理;
Semitron® MP 370
Semitron® MDS 100
Semitron® ESd 225
Semitron® ESd 410C
Semitron® ESd 420
Semitron® ESd 420V
Semitron® ESd 480
Semitron® ESd 490HR
Semitron® ESd 500HR
Semitron® ESd 520HR
Semitron® CMP LL5
Semitron® CMP XL 20
資料;
表4.5

表面電阻率

Semitron MP 370
Semitron MP 370材料用在半導體制造行業↟•,為精密測試座(socket)的設計和製作提供了更多選擇性▩₪▩╃。Semitron MP 370不僅有PEEK固有的極好吸溼性和耐高溫性↟•,而且具有更高的強度和尺寸穩定性▩₪▩╃。因這款訂製配方材料的機加工效能卓越↟•,因此可以做到更為精細和乾淨地加工▩₪▩╃。
· 極低的吸溼性
· 優秀的機加工效能↟•,可實現極小而緊密的孔模
· 強度和剛度超越了未填充的PEEK材料
· 內應力低和無模塑坯件的'軟心'問題
Semitron MDS 100
Semitron MDS 100非常好地綜合了強度✘│╃•✘、剛度和穩定性的特性▩₪▩╃。它的開發旨在用於不受控制或者高精密度要求的應用場合▩₪▩╃。Semitron MDS 100是半導體測試座(socket)✘│╃•✘、巢狀(nest)✘│╃•✘、夾具和封裝裝置的理想選材▩₪▩╃。
· 24小時只有0.10% 的吸溼率(ASTM D570)
· 耐溫至210°C
· 彈性模量 > 1,400,000 psi
抗靜電聚甲醛POM
Semitron ESd 225
Semitron ESd 225是硬碟驅動器製造過程中所用夾具的理想選材;也是矽晶圓工藝操作時的理想選材▩₪▩╃。它的顏色為褐色▩₪▩╃。
· 表面電阻率·✘:1010 - 1012 ohms/sq.
· 耐溫至107°C
· 良好的耐磨效能
應用案例·✘:
晶圓梳
由Semitron® ESd 225機械加工而成的晶圓梳↟•,解決了傳送裝置產生的靜電問題↟•,該問題曾導致每年上百萬美元的晶片損失▩₪▩╃。(替代先前材料·✘:尼龍✘│╃•✘、標準聚甲醛)
抗靜電PEI
Semitron ESd 410C
Semitron ESd 410C用在晶片檢測製程中操作晶片↟•,使其透過檢測裝置▩₪▩╃。它的顏色為黑色↟•,不透明▩₪▩╃。
· 表面電阻率·✘:104 - 106 ohms/sq.
· 耐熱至210°C
· 應力低↟•,緊公差加工適用
· 較高的強度和剛度
應用案例;
操作托盤
Semitron® ESd 410C 加工而成的托盤↟•,具有可靠的抗靜電效能↟•,尺寸穩定▩₪▩╃。(替代先前材料·✘:PPS✘│╃•✘、PEEK✘│╃•✘、Vespel® PI)
Semitron ESd 420
Semitron ESd 420是唯一一款真正可用於高溫環境的抗靜電塑膠產品▩₪▩╃。
· 表面電阻率·✘:106 - 109 ohms/sq.
· 熱效能好
Semitron ESd 420V
Semitron ESd 420V的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq ▩₪▩╃。它是一種堅硬✘│╃•✘、高強度的材料↟•,暴露在潮溼環境中↟•,不會發生尺寸變化▩₪▩╃。在對熱效能要求不是超高的情況下↟•,Semitron ESd 420V是一款高性價比的替代選材▩₪▩╃。
抗靜電PEEK
Semitron ESd 480
此款抗靜電PEEK的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq▩₪▩╃。Semitron ESd 480的尺寸穩定性非常高↟•,因此成為臨界測試夾具的理想選材▩₪▩╃。它的耐化學性絕佳↟•,極適用作晶片傳送↟•,和溼製程用工具的結構件↟•,而這些應用中↟•,靜電耗散也是非常重要的▩₪▩╃。作為跨駿Semitron ESd 材料↟•,Semitron ESd480容易被介電擊穿▩₪▩╃。(參見本頁的注意事項▩₪▩╃。)
Semitron ESd 490HR
具有稍高電阻率的PEEK材料↟•,其物理效能與Semitron ESd 480相似▩₪▩╃。
· 表面電阻率·✘:1010 - 1012 ohms/sq.
抗靜電PTFE
Semitron ESd 500HR
採用專有合成雲母增強↟•,Semitron ESd 500HR提供了絕佳的低摩擦特性和尺寸穩定性▩₪▩╃。凡是使用 PTFE的場合↟•,都可考慮Semitron ESd 500HR ▩₪▩╃。用於控制靜電排放時↟•,它是理想的選材▩₪▩╃。顏色為白色▩₪▩╃。
· 表面電阻率·✘:1010 - 1012 ohms/sq.
· 熱至260°C
· 隔熱
· 極低的摩擦係數
· 可耐化學品廣泛
應用案例;
外掛
由Semitron ESd 500HR板材加工而的抗靜電外掛↟•,降低了敏感元件因靜電排放而導致的損壞▩₪▩╃。(先前材料·✘:陶瓷)
抗靜電PAI
Semitron ESd 520HR
Semitron ESd 520HR是行業內第一款集靜電耗散(ESd)✘│╃•✘、高強度和耐熱性於一體的材料▩₪▩╃。該種新型的ESd材料用在測試裝置上↟•,是加工巢狀(nest)✘│╃•✘、測試座(socket)和接觸器(contactor)的理想選材↟•,也是其他元件操作部件的理想選材▩₪▩╃。520HR在高壓(>100V)下能抗介質擊穿↟•,這是它的獨特及關鍵特性▩₪▩╃。下圖呈現的是·✘:通常用在自動測試分類機上↟•,塑膠材料表現的電效能▩₪▩╃。甚至只是暴露於中等電壓下↟•,傳統碳纖維增強產品的導電性也呈現不可逆轉的增強▩₪▩╃。
在機械效能都可以勝任的情況下↟•,只有Semitron ESd 520HR在整個電壓範圍內能夠維持其電效能▩₪▩╃。
表面電阻率·✘:1010 - 1012 ohms/sq.
靜電耗散(表面電阻率↟•,ohms/sq.) |
Semitron® ESd 225 | 1010 - 1012 |
Semitron® ESd 410C | 104 - 106 |
Semitron® ESd 420 | 106 - 109 |
Semitron® ESd 500HR | 1010 - 1012 |
Semitron® ESd 520HR | 1010 - 1012 |
應用案例;
IC元件測試夾具
由於集靜電耗散(ESD)和高機械強度於一身↟•,最近一家測試夾具製造商將Semitron ESd 520HR用於加工積體電路測試頭▩₪▩╃。Semitron ESd 520HR的機械強度高↟•,因此可延長測試頭的使用壽命↟•,同時↟•,增大每小時的測試單元▩₪▩╃。
Semitron ESd 520HR用於測試巢狀(nest)✘│╃•✘、測試座(socket)和接觸器(contactor)時↟•,是第一款在抗靜電效能和所有機械效能上都能滿足要求的產品↟•,因此非常可靠▩₪▩╃。它的抗靜電效能(表面電阻率為1010 到 1012 ohms/sq.)足夠最小化漏電(leakage)風險▩₪▩╃。Semitron ESd 520HR在電壓高於100伏時↟•,還能保持其電阻率↟•,這點也極為重要▩₪▩╃。
Semitron® CMP材料
Semitron CMP LL5
Semitron CMP產品系列的研發↟•,為新工具設計者和具有遠大目光的終端使用者提供了這樣的機會——增加單個晶圓可生產晶片的成功率↟•,同時降低了每個晶片的生產成本▩₪▩╃。
CMP最佳化的PET-P
Semitron CMP LL5屬於下一代材料↟•,專為儘可能大幅度提高CMP工具的效能而研發▩₪▩╃。它的顏色為白色↟•,不透明▩₪▩╃。
· 超長壽命材料--5倍於 PPS
· 在CMP應用場合↟•,溫度達到 60°C 時的理想選材
· 氧化化學反應中效能最佳--8倍於 PPS
Semitron CMP XL20
CMP最佳化的PAI
Semitron CMP XL20是由三菱化學先進材料研發團隊開發的頂級CMP材料↟•,它的顏色為炭黑色↟•,不透明▩₪▩╃。
· 大大降低單片晶圓的成本
· 效能超越PPS↟•,在大多數工序中達到20倍
· 高強度和剛度↟•,帶來更少的邊緣損壞和更佳的一致性
承圖塑膠提醒注意事項·✘:
瞭解所施的電壓如何影響某種材料的阻抗性↟•,這點很重要▩₪▩╃。一些材料只能在低電壓下表現出較高的阻抗性↟•,而電壓變大時↟•,卻無法工作▩₪▩╃。這是由於介質擊穿而不可逆轉▩₪▩╃。靜電有時可能達幾千伏↟•,因此必須考慮材料在廣泛電壓範圍內的效能一致性▩₪▩╃。
一些材料表現不一致↟•,並且隨加工“紋理”變化而變化▩₪▩╃。