Semitron® 半導體級產品的研發↟•，是為了幫助設計者和使用客戶來最佳化元件製造裝置的效能▩₪▩╃。另外↟•，在元件製造時↟•，涉及到要求高耐磨✘│╃•✘、耐化學和抗靜電的特殊應用↟•，Semitron® 半導體級產品都是理想選材↟•，承圖塑膠代理進口▩₪▩╃。

Semitron®主要分兩個系列↟•，分別適用於元件操作和測試過程↟•，以及下一代CMP製程▩₪▩╃。

Semitron® 半導體級產品

Semitron®產品系列↟•，承圖塑膠整理；

• Semitron® MP 370

• Semitron® MDS 100

• Semitron® ESd 225

• Semitron® ESd 410C

• Semitron® ESd 420

• Semitron® ESd 420V

• Semitron® ESd 480

• Semitron® ESd 490HR

• Semitron® ESd 500HR

• Semitron® ESd 520HR

• Semitron® CMP LL5

• Semitron® CMP XL 20

資料；

表4.5

表面電阻率

Semitron MP 370

Semitron MP 370材料用在半導體制造行業↟•，為精密測試座（socket）的設計和製作提供了更多選擇性▩₪▩╃。Semitron MP 370不僅有PEEK固有的極好吸溼性和耐高溫性↟•，而且具有更高的強度和尺寸穩定性▩₪▩╃。因這款訂製配方材料的機加工效能卓越↟•，因此可以做到更為精細和乾淨地加工▩₪▩╃。

·         極低的吸溼性

·         優秀的機加工效能↟•，可實現極小而緊密的孔模

·         強度和剛度超越了未填充的PEEK材料

·         內應力低和無模塑坯件的'軟心'問題

Semitron MDS 100

Semitron MDS 100非常好地綜合了強度✘│╃•✘、剛度和穩定性的特性▩₪▩╃。它的開發旨在用於不受控制或者高精密度要求的應用場合▩₪▩╃。Semitron MDS 100是半導體測試座（socket）✘│╃•✘、巢狀（nest）✘│╃•✘、夾具和封裝裝置的理想選材▩₪▩╃。

·         24小時只有0.10% 的吸溼率（ASTM D570）

·         耐溫至210°C

·         彈性模量 > 1,400,000 psi

抗靜電聚甲醛POM

Semitron ESd 225

Semitron ESd 225是硬碟驅動器製造過程中所用夾具的理想選材；也是矽晶圓工藝操作時的理想選材▩₪▩╃。它的顏色為褐色▩₪▩╃。

·         表面電阻率·✘：1010 - 1012 ohms/sq.

·         耐溫至107°C

·         良好的耐磨效能

應用案例·✘：

晶圓梳

由Semitron® ESd 225機械加工而成的晶圓梳↟•，解決了傳送裝置產生的靜電問題↟•，該問題曾導致每年上百萬美元的晶片損失▩₪▩╃。（替代先前材料·✘：尼龍✘│╃•✘、標準聚甲醛）

抗靜電PEI

Semitron ESd 410C

Semitron ESd 410C用在晶片檢測製程中操作晶片↟•，使其透過檢測裝置▩₪▩╃。它的顏色為黑色↟•，不透明▩₪▩╃。

·         表面電阻率·✘：104 - 106 ohms/sq.

·         耐熱至210°C

·         應力低↟•，緊公差加工適用

·         較高的強度和剛度

應用案例；

操作托盤

Semitron® ESd 410C 加工而成的托盤↟•，具有可靠的抗靜電效能↟•，尺寸穩定▩₪▩╃。（替代先前材料·✘：PPS✘│╃•✘、PEEK✘│╃•✘、Vespel® PI）

Semitron ESd 420

Semitron ESd 420是唯一一款真正可用於高溫環境的抗靜電塑膠產品▩₪▩╃。

·         表面電阻率·✘：106 - 109 ohms/sq.

·         熱效能好

Semitron ESd 420V

Semitron ESd 420V的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq ▩₪▩╃。它是一種堅硬✘│╃•✘、高強度的材料↟•，暴露在潮溼環境中↟•，不會發生尺寸變化▩₪▩╃。在對熱效能要求不是超高的情況下↟•，Semitron ESd 420V是一款高性價比的替代選材▩₪▩╃。

抗靜電PEEK

Semitron ESd 480

此款抗靜電PEEK的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq▩₪▩╃。Semitron ESd 480的尺寸穩定性非常高↟•，因此成為臨界測試夾具的理想選材▩₪▩╃。它的耐化學性絕佳↟•，極適用作晶片傳送↟•，和溼製程用工具的結構件↟•，而這些應用中↟•，靜電耗散也是非常重要的▩₪▩╃。作為跨駿Semitron ESd 材料↟•，Semitron ESd480容易被介電擊穿▩₪▩╃。（參見本頁的注意事項▩₪▩╃。）

Semitron ESd 490HR

具有稍高電阻率的PEEK材料↟•，其物理效能與Semitron ESd 480相似▩₪▩╃。

·         表面電阻率·✘：1010 - 1012 ohms/sq.

抗靜電PTFE

Semitron ESd 500HR

採用專有合成雲母增強↟•，Semitron ESd 500HR提供了絕佳的低摩擦特性和尺寸穩定性▩₪▩╃。凡是使用 PTFE的場合↟•，都可考慮Semitron ESd 500HR ▩₪▩╃。用於控制靜電排放時↟•，它是理想的選材▩₪▩╃。顏色為白色▩₪▩╃。

·         表面電阻率·✘：1010 - 1012 ohms/sq.

·         熱至260°C

·         隔熱

·         極低的摩擦係數

·         可耐化學品廣泛

應用案例；

外掛

由Semitron ESd 500HR板材加工而的抗靜電外掛↟•，降低了敏感元件因靜電排放而導致的損壞▩₪▩╃。（先前材料·✘：陶瓷）

抗靜電PAI

Semitron ESd 520HR

Semitron ESd 520HR是行業內第一款集靜電耗散(ESd)✘│╃•✘、高強度和耐熱性於一體的材料▩₪▩╃。該種新型的ESd材料用在測試裝置上↟•，是加工巢狀（nest）✘│╃•✘、測試座（socket）和接觸器（contactor）的理想選材↟•，也是其他元件操作部件的理想選材▩₪▩╃。520HR在高壓（>100V）下能抗介質擊穿↟•，這是它的獨特及關鍵特性▩₪▩╃。下圖呈現的是·✘：通常用在自動測試分類機上↟•，塑膠材料表現的電效能▩₪▩╃。甚至只是暴露於中等電壓下↟•，傳統碳纖維增強產品的導電性也呈現不可逆轉的增強▩₪▩╃。

在機械效能都可以勝任的情況下↟•，只有Semitron ESd 520HR在整個電壓範圍內能夠維持其電效能▩₪▩╃。

表面電阻率·✘：1010 - 1012 ohms/sq.

應用案例；

IC元件測試夾具

由於集靜電耗散(ESD)和高機械強度於一身↟•，最近一家測試夾具製造商將Semitron ESd 520HR用於加工積體電路測試頭▩₪▩╃。Semitron ESd 520HR的機械強度高↟•，因此可延長測試頭的使用壽命↟•，同時↟•，增大每小時的測試單元▩₪▩╃。

Semitron ESd 520HR用於測試巢狀（nest）✘│╃•✘、測試座（socket）和接觸器（contactor）時↟•，是第一款在抗靜電效能和所有機械效能上都能滿足要求的產品↟•，因此非常可靠▩₪▩╃。它的抗靜電效能（表面電阻率為1010 到 1012 ohms/sq.）足夠最小化漏電（leakage）風險▩₪▩╃。Semitron ESd 520HR在電壓高於100伏時↟•，還能保持其電阻率↟•，這點也極為重要▩₪▩╃。

Semitron® CMP材料

Semitron CMP LL5

Semitron CMP產品系列的研發↟•，為新工具設計者和具有遠大目光的終端使用者提供了這樣的機會——增加單個晶圓可生產晶片的成功率↟•，同時降低了每個晶片的生產成本▩₪▩╃。

CMP最佳化的PET-P

Semitron CMP LL5屬於下一代材料↟•，專為儘可能大幅度提高CMP工具的效能而研發▩₪▩╃。它的顏色為白色↟•，不透明▩₪▩╃。

·         超長壽命材料--5倍於 PPS

·         在CMP應用場合↟•，溫度達到 60°C 時的理想選材

·         氧化化學反應中效能最佳--8倍於 PPS

Semitron CMP XL20

CMP最佳化的PAI

Semitron CMP XL20是由三菱化學先進材料研發團隊開發的頂級CMP材料↟•，它的顏色為炭黑色↟•，不透明▩₪▩╃。

·         大大降低單片晶圓的成本

·         效能超越PPS↟•，在大多數工序中達到20倍

·         高強度和剛度↟•，帶來更少的邊緣損壞和更佳的一致性

承圖塑膠提醒注意事項·✘：

瞭解所施的電壓如何影響某種材料的阻抗性↟•，這點很重要▩₪▩╃。一些材料只能在低電壓下表現出較高的阻抗性↟•，而電壓變大時↟•，卻無法工作▩₪▩╃。這是由於介質擊穿而不可逆轉▩₪▩╃。靜電有時可能達幾千伏↟•，因此必須考慮材料在廣泛電壓範圍內的效能一致性▩₪▩╃。

一些材料表現不一致↟•，並且隨加工“紋理”變化而變化▩₪▩╃。